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一、微小流量熱式氣體質量流量計概述
微小流量熱式氣體質量流量計采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
微小流量熱式氣體質量流量計能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二、微小流量熱式氣體質量流量計技術參數
1、測量介質：空氣，氮氣，二氧化碳，氬氣，氧氣，氫氣，氦氣
2、流量范圍： DN2：20-10000 mL/min；DN3：1000-30000 mL/min
(1)以上流量的測量介質為空氣而言；
(2)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
(3) 每個口徑量程范圍均可擴大
(4)特殊需要可聯系廠家單獨標定
3、最大允許誤差：±1.5%FS
4、精度保證溫度：15-35℃；
5、工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa  耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
6、供電電源：24VDC
7、輸入信號：0-5VDC,  RS485通訊
8、輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
9、環境溫度：5-45℃；
10、顯示位數：瞬時流量為6位，累積流量8位。
三、微小流量熱式氣體質量流量計特點
1、產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化。
4、單個芯片的卓越流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠。
5、結構的優化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。
6、采用國際最新的MF傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠。
7、獨創零點自校功能，測量更準確。
8、多種氣體實際標定，全量程補償。
9、快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理。
10、規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定。
11、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12、獨有的流量計報警功能，使監控更可靠。
13、操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數。
14、運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的首選。