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由于氣體的可壓縮性，決定了它的流量測量比液體復雜，氣體流量計的輸出信號除了與輸入信號有關，還與氣體密度有關，而氣體的密度又是溫度和壓力（簡稱溫壓）的函數。所以，氣體的流量測量普遍存在溫壓補償問題。在儀表的設計或對舊設備的改造中，氣體流量測控系統應盡可能采用微機化儀表，根據被測氣體及儀表類型，選用合適的數學模型，實施溫壓自動補償。
大部分氣體，可近似地視為理想氣體，其密度可用經過補正的理想氣體狀態方程來表示。有的氣體，如水蒸氣，即有別于理想氣體，其密度不宜簡單地用理想氣體狀態方程來表示。氣體又有干、濕之分，對于濕氣體，其密度除了與溫度、壓力有關外，還與濕度有關。近年來，不斷涌現的微機化儀表，使氣體流量測量的溫壓補償變得簡便而精確，從而提高了測量精度。
1、干氣體流量測量的溫壓補償
氣體的流量測量主要是采用差壓流量計，其流量基本方程式為：

式中：q為被測氣體在工作狀態下的體積流量；ρ為被測氣體在工作狀態下的密度；Δp為差壓；K為系數，它包含流量系數、膨脹系數、管道孔徑等參數。嚴格說，它也受溫壓影響，只是，在常用溫壓下，這一影響可以忽略。本文討論的溫壓補償是指補償密度隨溫壓變化所造成的影響。
2、濕氣體流量測量的溫壓補償
濕氣體與干氣體的不同點是，其密度除了與溫度、壓力有關外，還與濕度有關。雖然濕度對測量的影響與溫壓比較相對較小，但與儀表的精度比，即不可忽略。濕氣體的密度可用下式表示：

式中：0．804為溫度0℃，一個標準大氣壓下，水蒸氣的密度，kg／m3；ρ0、T0、Pn分別表示氣體在0℃，一個標準大氣壓下的密度、絕對溫度、絕對壓力；F為氣體的絕對濕度，kg／m3；Z為氣體壓縮系數。
3、水蒸氣流量測量的溫壓補償
水蒸氣流量計的標尺通常是以質量流量qm為刻度的，其流量基本公式是：